下载不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓的技术资料

文档序号:37027035

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本实用新型提供了一种不规则晶圆盒的夹持装置及晶圆盒装载仓,包括:移动滑块、主体框架、固定夹块、移动滑轨;所述移动滑轨安装在所述主体框架上,所述移动滑块滑配连接所述移动滑轨,所述移动滑块侧面安装所述固定夹块。本申请解决了不规则晶圆盒难以固定夹...
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