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本实用新型公开了一种无极汞灯的射频驱动源，它包括高频振荡器、高频放大器、功率放大器、耦合匹配器，高频振荡器的输出端与高频放大器的输入端连接，高频放大器的输出端与功率放大器的输入端连接，功率放大器的输出端与耦合匹配器的输入端连接。本实用新型结...
该专利属于中国科学院武汉物理与数学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院武汉物理与数学研究所授权不得商用。

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