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本实用新型公开了一种多焦点的激光剥蚀系统，包括激光光源、多焦点聚焦模块、样品台和检测模块；所述激光光源用于发射剥蚀激光束；所述多焦点聚焦模块用于将剥蚀激光束沿纵向聚焦在样品表面及内部；所述样品台用于盛放样品；所述检测模块用于接收剥蚀激光束剥...
该专利属于上海凯来仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海凯来仪器有限公司授权不得商用。

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