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本实用新型公开了一种高精准硅盘尺寸及平面度检测装置，属于硅盘加工技术领域，包括支撑台和设置于支撑台上方的激光头，支撑台上方水平设置有横梁，横梁的其中一侧壁焊接有第一电机，横梁上开设有贯穿其顶壁和底壁的顶槽，其中第一电机的输出轴同轴连接有螺杆...
该专利属于浙江圆芯半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江圆芯半导体材料有限公司授权不得商用。

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