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一种基于压电陶瓷弯曲片的可变双焦点激光加工装置制造方法及图纸
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下载一种基于压电陶瓷弯曲片的可变双焦点激光加工装置的技术资料
文档序号:36951602
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本发明公开了一种基于压电陶瓷弯曲片的可变双焦点激光加工装置,属于激光加工技术领域,通过将一束激光聚焦为沿轴向分布的两个聚焦点,并在光路上设置有压电陶瓷弯曲片,通过改变压电陶瓷弯曲片两端的电压使其发生形变,从而使得与其紧密接触的反射镜发生对应...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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