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本发明公开了一种直线度测量系统和直线度测量方法。直线度测量系统包括底座、定位运动装置、测量装置和数据采集仪器，定位运动装置可移动地设置在底座上；测量装置固定在底座上，用于在定位运动装置移动至目标测量位置时，测量定位运动装置的各个位置点与测量...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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