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本实用新型公开了一种晶圆边缘处理装置，包括：升降组件，与晶圆减薄设备中的支撑架连接；伺服旋转组件，与所述升降组件连接；处理组件，连接在所述伺服旋转组件的底部，其包括底盘，底盘的底面设有弧形磨抛件和喷嘴；气液接头，通过所述处理组件内部的气液路...
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