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本实用新型涉及原子层沉积设备（ALD）工艺尾气处理技术领域，尤其是一种原子层沉积设备工艺尾气粉尘自沉淀的过滤处理系统，包括冷凝罐桶，所述冷凝罐桶的一端设置有进气管道，另一端设置有出气管道，在所述冷凝罐桶的内部固定设置有多块冷凝导流板，所述多...
该专利属于光驰半导体技术（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰半导体技术（上海）有限公司授权不得商用。

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