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本发明提供一种用于半导体晶圆传送的环境检测预警系统，涉及晶圆传送检测技术领域，所述半导体晶圆传送的环境检测预警系统包括：粉尘监测模块、环境采集模块、气流捕获模块以及终端处理器，所述粉尘监测模块用于对放置点范围内的粉尘进行数据监测，所述环境采...
该专利属于泓浒（苏州）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒（苏州）半导体科技有限公司授权不得商用。

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