下载一种AlGaN基紫外发光二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:36936114

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本发明公开了一种AlGaN基紫外发光二极管及其制备方法,涉及半导体器件技术领域,该二极管包括衬底及设于衬底之上的N型半导体层,二极管还包括:依次层叠于N型半导体层之上的低温应力释放层、阱前电子阻挡层、阱前电子减速层、量子阱发光层、空穴储备层...
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