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本申请涉及一种管道异物清理装置、管道系统及管道异物清理方法,装置包括:清理装置,其用于设在与管道连接的过渡支路内;抽真空机构,其用于与所述过渡支路连接;控制模块,其用于在管道内流量不满足设定时,在当前沉积工序结束后,控制所述抽真空机构对所述...该专利属于藤仓烽火光电材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过藤仓烽火光电材料科技有限公司授权不得商用。
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