温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种低温泵，其具有：泵入口；两级制冷机；第一级阵列，所述第一级阵列被布置成热耦合到所述两级制冷机的第一级；以及低温面板结构，所述低温面板结构耦合到所述两级制冷机的第二级。所述低温面板结构的表面具有涂覆有吸附剂材料的经涂覆部分和未涂覆吸附剂材...
该专利属于爱德华兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。