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提供了一种用于操作显微镜扫描仪的方法。对包括样本的目标(6)上一个或多个感兴趣区域AOI执行第一成像扫描。这包括：沿着图像扫描路径相对于目标(6)移动检测器阵列(3)，并且在沿着图像扫描路径的多个位置中的每个位置处获取目标的图像。在成像扫描...
该专利属于FFEI公司所有，仅供学习研究参考，未经过FFEI公司授权不得商用。

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