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一种硅片承载器制造技术
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下载一种硅片承载器的技术资料
文档序号:36914907
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本实用新型涉及一种硅片承载器,包括承载架,承载架上部设有上夹杆组件,承载架下部设有下托杆组件;承载架包括两处相对设置的端板,两处端板之间通过框架杆连接;上夹杆组件包括上滑板,上滑板在端板上部滑槽中竖直滑动,上滑板左右两侧滑动连接第一连杆一侧...
该专利属于无锡市南亚科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过无锡市南亚科技有限公司授权不得商用。
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