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本实用新型公开了一种直写光刻照明系统和直写光刻设备，所述直写光刻照明系统包括：光源；光束整形系统，所述光束整形系统设于所述光源的光路上，用于将所述光源发出的光整形为矩形光斑；分光棱镜，所述分光棱镜位于所述光束整形系统的焦面位置，用于将所述矩...
该专利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥芯碁微电子装备股份有限公司授权不得商用。

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