下载一种用于防尘帽处理的载台装置的技术资料

文档序号:36909942

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本实用新型内开了一种用于防尘帽处理的载台装置,包括有可旋转的转盘,在转盘上设有至少两个旋转座,以至少形成一个处理工位和一个上料工位,旋转座上设有载具,随旋转座旋转至处理工位的载具与等离子处理装置相对;在靠近处理工位的位置设有旋转座驱动装置,...
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