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本申请涉及抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光机的飞片监测方法，包括：建立抛光启动前距离传感器向下检测的第一距离值、抛光过程中距离传感器向下检测的第二距离值以及偏差值的函数模型；基于每个距离传感器采集抛光启动前距离传感器向下检测的第一距离值、抛...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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