下载单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法的技术资料

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本发明公开了单晶炉、单晶炉加热装置及单晶炉的加热方法,本发明设计的单晶炉加热装置,通过电源系统对第一发热体进行供热,且第一发热体再将热量快速传递到第二发热体,通过在第二发热体与第一发热体上边侧等距均匀设置热量传导柱,以及在对接环上嵌接设置的...
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