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本实用新型涉及一种抛光装置，尤其涉及一种间隔上料的晶圆片抛光装置。本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够不间断对晶圆体进行抛光，无需人工对准的间隔上料的晶圆片抛光装置。一种间隔上料的晶圆片抛光装置，包括有底座、转板和支架等；底座上转动式连...
该专利属于吴智强所有，仅供学习研究参考，未经过吴智强授权不得商用。

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