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本发明改进基板保持件的强度。具有：多个环状部件，其以预定的间隔排列；多个柱，其具有比环状部件的宽度窄的宽度，沿环状部件的外缘配置，并保持多个环状部件；多个支撑部件，其从多个柱朝向内周延伸，在上侧的环状部件与下侧的环状部件之间载置基板；以及多...
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