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本实用新型提供了一种氮化物外延片，包括：一衬底；衬底表面的外延层；以及设置在外延层内或衬底与外延层之间的中间层，所述中间层包括两种不同的氮化物材料交替堆叠构成的多层堆叠结构，多层堆叠结构包括二元氮化物和In
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该专利属于江苏第三代半导体研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏第三代半导体研究院有限公司授权不得商用。

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