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本发明涉及一种激光退火设备和激光退火方法，能够应对待处理的物体的各种厚度以及关于待处理的物体的各种处理。激光退火设备包含：平台，配置成支撑目标物体；第一激光头单元，连接到第一激光源单元以将第一激光照射到目标物体；第二激光头单元，连接到第二激...
该专利属于APS研究股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过APS研究股份有限公司授权不得商用。

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