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本发明属于薄膜热电偶材料领域，具体涉及一种测量切削温度的薄膜热电偶及其制备方法。本发明同时结合中频反应磁控溅射技术、直流磁控溅射技术和多弧离子镀技术的薄膜热电偶制备方法。薄膜热电偶从下到上依次由硬质合金刀具基底、Si3N4薄膜、NiCr薄膜...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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