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本发明提供了一种坩埚更换装置，包括：装载腔、第一顶升机构、第二顶升机构、轮转停放台、机械手、第一阀门组件和第二阀门组件；装载腔和真空镀膜设备的蒸发腔连接，形成有供坩埚通过的第一开口和第二开口，第一阀门组件用于打开和关闭所述第一开口，所述第二...
该专利属于布勒莱宝光学设备（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过布勒莱宝光学设备（北京）有限公司授权不得商用。

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