下载一种单晶炉用换热器及单晶炉的技术资料

文档序号:36823023

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本申请提供了一种单晶炉用换热器及单晶炉,其中,单晶炉用换热器包括换热器本体及导气结构;换热器本体具有生长单晶硅的收容空间,收容空间沿换热器本体的轴线方向延伸,且贯穿换热器本体;导气结构绕收容空间设置于换热器本体一端,导气结构具有导气口,且导...
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