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本发明公开了一种单片集成的HEMT太赫兹探测器阵列结构及其应用。所述太赫兹探测器阵列结构包括呈阵列排布的多个太赫兹探测单元，每一太赫兹探测单元内包括太赫兹探测器、放大器模块和开关模块，太赫兹探测器与放大器模块、开关模块电连接，其中，放大器模...
该专利属于中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所授权不得商用。

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