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一种微电容式麦克风系统，包括若干个微电容式单元排列形成的麦克风阵列，各微电容式单元包括低电极，支撑在低电极上的薄膜，在薄膜与低电极之间形成真空密封空间，其特征在于：所述微电容式单元还包括硅基体，低电极层叠在硅基体上，薄膜表面的中心部分覆盖有...
该专利属于美国通用微机电系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过美国通用微机电系统公司授权不得商用。

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