下载用于精密机器工具定位的高精度温度和污染物控制的技术资料

文档序号:36800903

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一种污染物控制系统,用于减少或基本上防止污染物进入定位系统以防止定位系统的精度和准确度下降。污染物控制系统引导气流通过定位系统的内部,并且在定位系统内产生大于环境空气压力的内部压力。污染物控制系统可以包括温度调节器以加热和/或冷却流动通过定...
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