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离子电流下降补偿制造技术
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文档序号:36800764
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在一些实施例中,公开了高电压电源,所述高电压电源提供了在两个随后脉冲之间不具有任何电压下降的多个高压脉冲。在一些实施例中,公开了高电压电源,所述高电压电源提供了具有多个高电压脉冲的电压随时间变化的波形,所述多个高电压脉冲具有大于1kV的电压...
该专利属于鹰港科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过鹰港科技有限公司授权不得商用。
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