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本发明提供一种流体设备，该流体设备解决了若作为形成流体设备的材料而仅使用玻璃或金属等硬质材料则制造成本会升高这一课题。该流体设备具备：流道，其供流体流通；超声波元件，其通过对所述流体施加超声波而使所述流道内的所述流体产生驻波，所述流道具有第...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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