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本申请公开了一种坩埚自动化转运冷却装置,包括冷却箱以及安装在所述冷却箱上的冷却夹套、驱动部件、传动部件和中空介质冷却导辊组,其中,所述冷却夹套具有连接至冷却介质循环系统的接口且与所述中空介质冷却导辊组内部相连通以使冷却介质在所述中空介质冷却...该专利属于宁夏鑫晶新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁夏鑫晶新材料科技有限公司授权不得商用。
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