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本发明公开了一种质量流量控制器的控制方法、装置、电子设备及存储介质。其中，该方法包括：确定第一电磁阀的的开关启动时长是否达到设定时长，第一电磁阀用于连通质量流量控制器与第一工艺单元；质量流量控制器连接至少两个电磁阀，每个电磁阀连接一个工艺单...
该专利属于中国原子能科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国原子能科学研究院授权不得商用。

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