下载一种CoFeB合金靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:36774106

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本发明属于磁记录靶材领域,具体公开了一种CoFeB合金靶材及其制备方法。本发明所述CoFeB合金靶材,包括如下质量百分含量的元素组分:钴元素15
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