温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型涉及复合衬底技术领域，尤其涉及一种氮化铝与氮化镓复合衬底。其主要针对现有氮化镓衬底成本高，底部形貌无法调整的问题，提出如下技术方案：基于金属有机化学气相沉积技术，所述复合衬底包括氮化镓层和氮化铝层，所述氮化镓层位于氮化铝层的上方，...
该专利属于福建中晶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建中晶科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。