下载一种正负压一体多功能苏玛罐采样器的技术资料

文档序号:36765103

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本发明公开了一种正负压一体多功能苏玛罐采样器,包括MFC质量流量计、三通接头、压力传感器和气泵,所述三通接头的个数为两个,包含有第一三通和第二三通,所述电磁阀为三通电磁阀结构,所述MFC质量流量计和电磁阀通过第一三通相连接,第一三通和压力传...
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