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一种TOPCon电池选择性发射极和钝化接触结构的制备方法技术
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下载一种TOPCon电池选择性发射极和钝化接触结构的制备方法的技术资料
文档序号:36757205
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本发明涉及电池制造技术领域,具体涉及一种TOPCon电池选择性发射极和钝化接触结构的制备方法,使用板式工艺在电池正面和背面分别制备硼掺杂和磷掺杂层,正面的硼掺杂层,氮化硅覆盖层和背面的隧穿氧化层、磷掺晶硅薄层可以同一台设备进行工艺,并且两者...
该专利属于江苏杰太光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏杰太光电技术有限公司授权不得商用。
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