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本发明公开了一种洁净室废气送风系统及其送风方法，该洁净室废气送风系统包括洁净室排气管路、排气风机、送风通道、设置在送风通道的第一风阀、尾气处理通道、第二风阀、待调温室、换热围壁件、以及废气外排管道；所述换热围壁件设置在待调温室内，且换热围壁...
该专利属于广州沃泰芯电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州沃泰芯电子技术有限公司授权不得商用。

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