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一种在纤锌矿氮化铝基薄膜表面原位生长超薄氧化铝保护层的方法和应用，属于电子信息技术领域。本发明利用同一Al金属靶，在纤锌矿AlN基薄膜表面原位生长金属Al薄膜，随后将金属Al薄膜原位氧化为超薄致密的Al2O3层对其下的AlN基压电、铁电薄膜...
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