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本发明提供一种不会对元件造成负担而能够形成表面平坦的保护膜的保护膜形成装置。保护膜形成装置包括：树脂供给部，对基板的、搭载有元件的面供给液状的固化性树脂；基板保持部，保持被供给有固化性树脂的基板；支承部，与基板保持部相向地设置；带供给部，向...
该专利属于芝浦机械电子装置株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过芝浦机械电子装置株式会社授权不得商用。

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