下载具有慢光束偏转的MEMS反射镜系统的技术资料

文档序号:36740530

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的实施例涉及具有慢光束偏转的MEMS反射镜系统。光束偏转系统被配置为以随时间变化的输出偏转角传输光束。该系统包括:被配置为以第一谐振频率围绕第一旋转轴线振荡的第一谐振结构;被配置为以第二谐振频率围绕第二旋转轴线振荡的第二谐振结构,其中...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。