温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开的实施例提供一种氧化物薄膜晶体管及其制备方法、电子设备，该氧化物薄膜晶体管包括：衬底基板；依次层叠设置在衬底基板上的栅极和金属氧化物半导体层；设置在金属氧化物半导体层和栅极之间的栅绝缘层，其中，栅绝缘层包括层叠设置的氧化硅绝缘层和氮化...
该专利属于京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。