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本发明公开了一种清洁装置、加工设备和清洁装置的清洁方法，所述清洁装置包括：毛刷组件，所述毛刷组件包括用于清洁待清洁部件的清洁毛刷；振动组件，所述振动组件与所述清洁毛刷相连，所述振动组件通过驱动所述清洁毛刷振动以实现所述清洁毛刷的自清洁，或所...
该专利属于苏州维嘉科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州维嘉科技股份有限公司授权不得商用。

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