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本实用新型提供一种硅片分片装置，包括：底座，设置有硅料槽和供水槽，硅料槽与供水槽连通；供水机构，与供水槽连通，用于向供水槽内输送喷淋水；分片机构，与供水槽连通，吸入供水槽内的喷淋水以对硅片进行喷淋分片；过滤机构，设置在供水槽内，并与分片机构...
该专利属于晶海洋半导体材料（东海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶海洋半导体材料（东海）有限公司授权不得商用。

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