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本实用新型公开了一种具有过滤器的真空系统，包括扩散泵，所述扩散泵上端安装主阀，主阀右端安装粗抽阀，粗抽阀右端安装前级阀，且前级阀连通扩散泵，前级阀右端安装维持泵阀，维持泵阀下端安装维持泵，前级阀右端安装过滤器组件，过滤器组件一端安装罗茨泵，...
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