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本发明公开了一种面向半导体无尘室自动化代操作系统和方法，所述代操系统包括访问层、处理层、逻辑层、硬件层；本申请将传统的堆叠式及编码式的代操系统变更为模块化的层级式，通过模块化访问层、处理层、逻辑层、硬件层，提高部署的灵活性，降低部署基础设施...
该专利属于无锡芯享信息科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯享信息科技有限公司授权不得商用。

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