下载一种可实现材料图案化的激光加工平台的技术资料

文档序号:36706345

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本实用新型公开一种可实现材料图案化的激光加工平台,包括样品加工运动控制模块,温度控制模块,激光光路系统以及CCD监控观测模块。激光光路系统包括激光器、反射镜、扩束镜、1/2玻片、偏振片、光束提升器、显微分光模块、显微反射照明器、物镜、载物台...
该专利属于天津科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津科技大学授权不得商用。

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