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本发明公开了一种二维柱面整形系统，包括Y方向扩束单元和X方向缩束单元，所述Y方向扩束单元包括若干平凹柱面镜和/或平凸柱面镜，所述X方向缩束单元包括若干平凹柱面镜和/或平凸柱面镜；所述Y方向扩束单元和X方向缩束单元基于各方向的扩束倍率或缩束倍...
该专利属于中国工程物理研究院应用电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国工程物理研究院应用电子学研究所授权不得商用。

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