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本发明提供了一种盘状工件的打磨装置。它解决了现有的盘状工件打磨装置仅能对固定尺寸的盘状工件的上盘面或者侧盘面进行打磨，打磨效率低等技术问题。本盘状工件的打磨装置，包括底座，底座上设置有一用于放置盘状工件的底盘，底盘底部连接有一能使其旋转的旋...
该专利属于浙江龙际立尔半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江龙际立尔半导体科技有限公司授权不得商用。

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