下载管理装置、光刻装置、管理方法、以及物品制造方法的技术资料

文档序号:36704419

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管理装置包括学习设备。所述学习设备被配置为在从被配置为使用参数值通过强化学习来决定的神经网络对受控制的对象进行控制的控制器对所述受控制的对象的控制结果获得的奖励不满足预定的标准的情况下,通过强化学习来重新决定所述参数值。重新决定所述参数值。...
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