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管理装置、光刻装置、管理方法、以及物品制造方法制造方法及图纸
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文档序号:36704419
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管理装置包括学习设备。所述学习设备被配置为在从被配置为使用参数值通过强化学习来决定的神经网络对受控制的对象进行控制的控制器对所述受控制的对象的控制结果获得的奖励不满足预定的标准的情况下,通过强化学习来重新决定所述参数值。重新决定所述参数值。...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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