下载一种三维压力传感器及其应变传感结构的技术资料

文档序号:36703439

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本发明公开了一种三维压力传感器中的应变梁结构,包含受力体、环绕受力体的多个传感件、分别连接受力体和多个传感件的多个传导件;所述受力体的上端设有可承受压力的受力块;所述传感件包含传感部、两个支撑部;多个所述传感件的传感部分别位于各个解耦方向上...
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